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ロボット機械設(shè)備

獨自の搬送技術(shù)とロボット技術(shù)を有効活用することで、多くの分野の製品ニーズに対応できる設(shè)備を提供します。

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半導(dǎo)體機械設(shè)備

獨自の搬送技術(shù)とロボット技術(shù)を有効活用することで、多くの分野の製品ニーズに対応できる設(shè)備を提供します。

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デザインや家電製品の取り扱い

獨自の搬送技術(shù)とロボット技術(shù)を有効活用することで、多くの分野の製品ニーズに対応できる設(shè)備を提供します。

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自動車生産関連機器

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FPD生産関連機器

獨自の搬送技術(shù)とロボット技術(shù)を有効活用することで、多くの分野の製品ニーズに対応できる設(shè)備を提供します。

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半導(dǎo)體機械設(shè)備

半導(dǎo)體関連の生産設(shè)備では、シリコンウエハーを各種加工設(shè)備に搭載するロードポート、大気圧?真空環(huán)境に対応できるウエハー移送ロボット、それらを統(tǒng)合したEFEMを製造?販売しています。

また、FOPLP機器、転送ロボット、およびそれらを統(tǒng)合するEFEM用のロードポートもあります。